低温等离子空气净化器是继固态、液态、气态之后的物质的第四态，当外加电压达到气体的着火电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。
低温等离子空气净化器降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到分解污染物的目的。
低温等离子空气净化器体工业废气处理成套设备和技术作为一种新型的气态污染物的治理技术是一个集物理学、化学、生物学和环境科学于一体的交叉综合性电子化学技术，由于能易使污染物分子高效分解且处理能耗低等特点，是目前大气污染治理有效的技术方法之一，其使用和推广前景广阔，为工业领域VOC类有机废气及恶臭气体的治理开辟了一条新的思路 二、工艺原理 低温等离子废气处理设备技术是经历多年研究，实践经验，在率先引进在工业废气净化领域上大规模使用的。并不断完善而形成的系列工业光催化有机废气净化装置。
低温等离子空气净化器装置采用生物喷淋进行预处理，再进入光催化净化装置，在催化剂的作用下，常温下使有机废气转化为。目前，此装置已被外用户广泛使用，均取得良好的净化效果。
低温等离子空气净化器技术的主要成分是锐钛型二氧化，新型光催化剂材料的成功运用，已将其列为本世纪重点发展的新技术，被誉为当今上先进的空气净化除臭新技术之一，经先推广后也得到较广泛应用。