一、真空井式坩埚炉简介
本设备是由石英坩埚（或氧化铝陶瓷坩埚）和不锈钢法兰组成的真空坩埚炉。主要用于煅烧真空或惰性气体保护下的高纯度化合物或扩散半导体晶片，也可用于烘烧或烧结陶瓷材料。
二、真空井式坩埚炉参数说明
型号 | QSH-VCF-1200T | QSH-VCF-1400T | QSH-VCF-1700T |
工作温度 | ＞1200℃ | ＞1400℃ | ＞1700℃ |
加热元件 | 电阻丝 | 硅碳棒 | 硅钼棒 |
热电偶 | K型 | S型 | B型 |
控温方式 | 51段可编程自动控制，PID调节控温精度 |
升温速率 | 0-10℃ | 0-20℃ |
控温精度 | ±1℃ |
最大真空度 | -0.1MPa |
炉膛材料 | 氧化铝陶瓷纤维板 |
炉壳 | 双层炉壳，风冷结构（炉底安装两个散热风扇），炉壳表面温度低于60度 |
额定功率 | 1KW—8KW |
常用炉膛尺寸 | Φ240xH220mm；Φ40xH300mm；Φ60xH300mm；Φ80xH300mm；Φ100xH300mm；Φ120xH300mm |
三、温控程序曲线示意图（六段为例）：
四、温控程序对应符号及其意义：
提示符 | 输入数据 | 意义 |
C 01 | 0 | 起始温度值 |
t 01 | 60 | 从0~300℃的升值时间为60分钟 |
C 02 | 300 | 第一个目标温度值 |
t 02 | 10 | 300℃保温时间10分钟 |
C 03 | 300 | 第二个目标温度值 |
t 03 | 240 | 从300~1500℃的升值时间为240分钟 |
C 04 | 1500 | 第三个目标温度值 |
t 04 | 30 | 1500℃恒温时间10分钟 |
C 05 | 1500 | 第四个目标温度值 |
t 05 | 260 | 从1500~200℃的升值时间为260分钟 |
C 06 | 200 | 第五个目标温度值 |
t 06 | －121 | 程序运行结束，自然降温 |
五、常见故障及故障排除
故障现象 | 故障原因 | 排除方法 |
打开控制电源开关Lock无电源指示 | 控制线路FU1 4A保险丝断 | 检查有无短路排除后更换保险丝 |
绿色Power指示灯灭，红色Open circuit指示灯亮。 | 主电路FU2 32A保险丝断 | 检查有无短路排除后更换保险丝 |
电压最大，无电流。 | 硅钼棒断裂 | 更换硅钼棒 |
仪表SV交替显示OraL | 热电偶断路 | 更换热电偶 |
仪表SV交替显示HIAL | 炉体超过上限温度1700℃仪表起保护 | 温度降至安全温度后仪表自动恢复正常（检查超温原因） |
电源及硅钼棒都正常，但炉体不能升温 | 控制线路损坏 | 通知专业维修人员。 |
说明：
1、本产品的规格参数仅供参考，以具体产品实际参数为准，请与销售及咨询客服人员。
2、产品图片及外观尺寸在不断研发更新中、如有更改恕不另行通知。
3、除标准产品外、我公司可根据客户要求，进行设计生产，具体与销售人员联系。
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