XD-1400VCB 真空井式坩埚炉
真空井式坩埚炉是由石英坩埚(或氧化铝坩埚)和不锈钢法兰组成的真空坩埚炉。主要用于煅烧真空或惰性气体中的高纯度化合物,退火或扩散半导体晶片;也可用于烘烧或烧结陶瓷材料。
型号
XD-1400VCB
炉膛尺寸
可定制
最高温度
1400℃
工作温度
1300℃
控温方式
智能化30段可编程自动控制
加热元件
硅碳棒
炉膛材料
氧化铝纤维
炉壳
双层风冷结构
热电偶
s分度
升温速率
≤15℃/分钟
恒温精度
±1℃
最大真空度
-0.1MPa
额定功率
可详询