真空井式坩埚炉
本设备是由石英坩埚（或氧化铝陶瓷坩埚）和不锈钢法兰组成的真空坩埚炉。主要用于煅烧真空或惰性气体保护下的高纯度化合物或
扩散半导体晶片，也可用于烘烧或烧结陶瓷材料。
真空井式坩埚炉
型号Type：QSH-VCF-1200T |
炉膛尺寸：外径205x内径190 x高340mm | Chamber size :O.D.205 x I.D.190 x H340 |
最高工作温度:1200 | Max temperature :1200℃ |
工作温度:1100 | Working temperature :1100℃ |
加热元件：含钼电阻丝 | Heating elements : Fe –Cr-Al-Mo wire |
控温方式：51段可编程自动控制 | Temperature control :51 segments programmable and PID auto control |
升温速率: 0~30℃/分 | Heating rate : 0~30℃/min |
温控精度:±1℃ | Temperature accuracy:±1℃ |
最大真空度:-0.1MPa | Max vacuum :-0.1MPa |
炉膛材料：陶瓷纤维毯 | Furnace chamber : ceramic fiber |
炉壳：双层风冷结构 | Furnace structure :double shell with fan cooling |
额定功率：3KW | Rated Power :3KW |
型号Type：QSH-VCF-1600T |
炉膛尺寸：外径150x内径130 x高200mm | Chamber size :O.D.150 x I.D.130 x H200 |
最高工作温度:1550 | Max temperature :1550℃ |
工作温度:1500 | Working temperature :1500℃ |
加热元件：硅钼棒 | Heating elements : MoSi2 heating elements |
控温方式：51段可编程自动控制 | Temperature control :51 segments programmable and PID auto control |
升温速率: 0～30℃/分 | Heating rate : 0～30℃/min |
温控精度:±1℃ | Temperature accuracy:±1℃ |
最大真空度:-0.1MPa | Max vacuum :-0.1MPa |
炉膛材料：陶瓷纤维毯 | Furnace chamber : ceramic fiber |
炉壳：双层风冷结构 | Furnace structure :double shell with fan cooling |
额定功率：6KW | Rated Power :6KW |
温控程序曲线示意图（六段为例）：
温控程序对应符号及其意义：
提示符 | 输入数据 | 意义 |
C 01 | 0 | 起始温度值 |
t 01 | 60 | 从0~300℃的升值时间为60分钟 |
C 02 | 300 | 第一个目标温度值 |
t 02 | 10 | 300℃保温时间10分钟 |
C 03 | 300 | 第二个目标温度值 |
t 03 | 240 | 从300~1500℃的升值时间为240分钟 |
C 04 | 1500 | 第三个目标温度值 |
t 04 | 30 | 1500℃恒温时间10分钟 |
C 05 | 1500 | 第四个目标温度值 |
t 05 | 260 | 从1500~200℃的升值时间为260分钟 |
C 06 | 200 | 第五个目标温度值 |
t 06 | －121 | 程序运行结束，自然降温 |
常见故障及故障排除
故障现象 | 故障原因 | 排除方法 |
打开控制电源开关Lock 无电源指示 | 控制线路FU1 4A保险丝断 | 检查有无短路排除后更换保险丝 |
绿色Power指示灯灭，红色Open circuit指示灯亮。 | 主电路FU2 32A保险丝断 | 检查有无短路排除后更换保险丝 |
电压最大，无电流。 | 硅钼棒断裂 | 更换硅钼棒 |
仪表SV交替显示OraL | 热电偶断路 | 更换热电偶 |
仪表SV交替显示HIAL | 炉体超过上限温度1700℃仪表起保护 | 温度降至安全温度后仪表自动恢复正常（检查超温原因） |
电源及硅钼棒都正常，但炉体不能升温 | 控制线路损坏 | 通知专业维修人员。 |
说明：1、本产品的规格参数仅供参考，以具体产品实际参数为准，请与销售及咨询客服人员。
2、产品图片及外观尺寸在不断研发更新中、如有更改恕不另行通知。
3、除标准产品外、我公司可根据客户要求，进行设计生产，具体与销售人员联系。
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服务内容：
◇设备保修期：验收合格后12个月内。在保修期内设备因质量缺陷出现故障，我方提供免费服务。
◇免费提供技术指导安装及设备调试服务。
◇终身优惠价提供易损部件及相关耗材，并协助用户进行设备维护及配件更换。
◇可为用户培训技术操作人员，免收培训费，食、宿、交通费用自理。
◇可为用户提供相关设备在不同场合下的使用方法及技术指导工作。
服务保障体系：
公司专设售后服务中心，开通24小时报修电话，接到报修电话，维修人员将在1～2工作日内赶往现场。一般故障48小时内解决，
重大故障3日内解决。
◇服务中心专人专线负责解答用户在设备使用过程中的种种问题。
◇联系电话：021-58923658
◇电子信箱：yinyl@126.comxialina530@163.com
服务监督：
为了监督公司维修服务人员的售后服务质量，公司专门设立投诉电话，将及时、准确的记录用户意见并迅速做出反应。
◇联系电话：021-58933728
◇电子信箱：xialina530@163.com yinyl@126.com
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