【伯东公司授权代理】美国进口Brooks CTI On-Board®Cryopumps低温泵
伯东公司总代理美进口CTI-CRYOGENICS世界顶级的低温泵(冷凝泵),其先进的技术,稳定的产品质量引领着真空低温泵的发展。 冷凝泵的原理是将气体冷冻结成霜,从而形成真空;或者气体冷冻后动能减少,从而用焦碳将其吸附住,形成真空。CTI-CRYOGENICS冷凝泵(低温泵)无论在真空度,性能,维护成本,远程监控功能上都给客户提供了专业完美的解决方案。
CTI On-Board®低温泵优点:具有集成控制和外设部件的低温泵系统。可以快速的实现与设备系统的控制的整合和系统集中操控。
| 1.稳定的工艺性能。 2.性能经过强化,提供设备更多的工艺时间。 3.缩短再生时间,是Cryo-Torr®系列低温泵的三分之一到一半。 4.快速再生功能提升完全再生之间的性能表现。 5.成组的低温泵具有群组再生功能,可以大大缩短整个系统的再生时间耗用,增加设备的有效使用时间。 6.全球性的服务支持体系。 |
On-Board®低温泵集成了微电脑控制,可以显著提高泵体的性能,并提供系统自我诊断和设备通讯的功能。On-Board®低温泵可以适合复杂的软件程序控制。现在全球的追求性能和可靠性的低温泵主流应���正是采用On-Board®做为标准的解决方案。On-Board®低温泵为各种高要求的真空工艺提供洁净、可靠和迅捷的真空获得手段,并保证了设备的高产和工艺的稳定性。On-Board®低温泵有全系列的品种,满足各类工艺和应用条件的选用。
CTIOn-Board®低温泵技术参数:
On-Board泵的型号 | 4F | 8 | 8F | 250F | 10 | 10F | 400 |
结构 | 平卧式 | 直立式 | 平卧式 | 仰卧式 | 直立式 | 平卧式 | 直立式 |
真空泵法兰内径(金属密封件,ANSI和ISO) | 100mm | 200mm | 200mm | 250mm | 290mm | 300mm | 400mm |
气体抽吸速度-升/秒 | 水汽 | 1,100 | 4,000 | 4,000 | 6,500 | 9,000 | 9,500 | 17,500 |
空气 | 370 | 1,500 | 1,500 | 2,200 | 3,000 | 3600 | 6,000 |
氢气 | 370 | 2,500 | 2,200 | 3,200 | 5,000 | 6000 | 12,000 |
氩气 | 310 | 1,200 | 1,200 | 1,800 | 2,500 | 3000 | 5,000 |
气体容量-标准升 | 氩气 | 210 | 1,000 | 1,000 | 1,000 | 2,000 | 2000 | 2,500 |
氢气(5x10-6Torr) | 3 | 17 | 12 | 16 | 24 | 24 | 42 |
吞吐量-托-升/秒 | 氢气 | 700 | 700 | 700 | 700 | 1,500 | 1500 | 500 |
氩气 | 9 | 9 | 9 | 9 | 19 | 19 | 6 |
横过量-托-升 | 100 | 150 | 150 | 150 | 150 | 300 | 300 | 300 |
完全再生(典型) | | | | | | | |
快速再生(典型) | | | | | | | |
冷凝泵重量 | 磅 | 47 | 55 | 52 | 58 | 95 | 100 | 170 |
公斤 | 21 | 25 | 24 | 26 | 45 | 45 | 77 |
CTI-CRYOGENICS 冷凝泵(低温泵)应用范围:广泛应用于半导体、太阳能薄膜制程、光纤市场、平板显示、光学镀膜及实验室设备。
伯东公司主要经营产品德国Pfeiffer涡轮分子泵,干式真空泵,罗茨真空泵,旋片真空泵;应用于各种条件下的真空测量(真空计,真空规管);氦质谱检漏仪;质谱分析仪;真空系统以及Cryopump冷凝泵/低温泵, HVA真空阀门,Polycold冷冻机和美国KRI离子源.
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